Насколько много вы знаете о нитриде кремния в подложках из нитрида кремния?

Сегодня позвольте мне представитькремнийн-нитридс точки зрения производительности.

О физических свойствах

Во-первых, термические свойства нитрида кремния. Это высокотемпературный огнеупорный материал, не имеющий температуры плавления. Он разлагается при температуре около 1900 ℃ при нормальном давлении. Он обладает сильным сопротивлением ползучести под высоким давлением. Температура размягчения реактивно-спеченного нитрида кремния без связующего может достигать 1800 ℃. Тогда он имеет хорошую теплопроводность и небольшой коэффициент теплового расширения. Он также имеет хорошую электроизоляцию, небольшую диэлектрическую проницаемость и высокое напряжение пробоя.

О химических свойствах

Нитрид кремнияобладает хорошей стойкостью к окислению и не вступает в реакцию с кислородом в сухой атмосфере при температуре ниже 800 ℃. Кроме того, он устойчив к коррозии расплавленного металла, не смачивает расплав элементарных металлов (кроме меди) и не подвергается коррозии. Другой характеристикой является то, что он легко растворяется в плавиковой кислоте и не действует с разбавленной кислотой.

О механических свойствах

Нитрид кремнияимеет хорошую жаропрочность. Высокотемпературная прочность при 1200°C не сильно снижается по сравнению с прочностью при комнатной температуре. Кроме того, его скорость ползучести при высоких температурах очень низкая. Все это определяется природой прочных ковалентных связей. Он имеет высокую твердость, уступая лишь немногим сверхтвердым материалам, таким как алмаз, кубический BN, B4C и т. д. Он также имеет низкий коэффициент трения и самосмазывающиеся свойства, аналогичные поверхности смазанного маслом металла.

Вышеупомянутое представляет собой сегодняшнее введение внитрид кремнияиз трех аспектов физических свойств, химических свойств и механических свойств.